高精度程控旋转涂膜仪，主要用于微电子、半导体、太阳能电池、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺，例如各类纳米薄膜材料、光阻涂层、生物功能涂层的制备。

一.    产品应用

SYSC-100 高精度程控旋转涂膜仪是全新一代旋转涂膜设备。具有速度精度高、转速稳定、旋转加速度可控、匀胶过程多段程序控制等特点。主要用于微电子、半导体、太阳能电池、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺，例如各类纳米薄膜材料、光阻涂层、生物功能涂层的制备。

二.     高精度程控旋转涂膜仪产品特点

1.     旋转电机采用专为匀胶机设计的精密高速伺服电机，具有高精度、高稳定性、高可靠性。

2.     优异的旋转加速性能，较大旋转加速度可达20000rpm/s（有负载的真实加速度）。

3.     两项**互锁功能：

(1) 匀胶腔体具有开启、关闭的检测功能，确保腔体关闭后才可启动，防止匀胶过程中飞片造成身体受伤；

(2) 真空吸片具有真空检测功能，若发生真空泄漏，基片无法吸附牢固，则立即停止运行。

4.     机身外壳采用SUS304不锈钢制作，防腐蚀、不生锈、易清洁。

5.     匀胶腔体采用德国劳士领NPP材料，经CNC一体加工成型。接储脱离基片的胶液，避免进入真空管路和设备内部。耐腐蚀、易清洁。

6.     旋转吸片台采用德国劳士领PEEK材料，经CNC一体加工成型。耐高温、耐腐蚀、不变形。

7.     匀胶过程全自动分段程序控制。整个匀胶过程多可分十段进行，每段的加速时间、旋转速度、匀胶时间均可精密控制、连续可调。可储存50组工艺程序，随时调用。

8.     7英寸液晶触摸屏使控制更方便；运行状态及各项参数实时显示，更直观了解匀胶进程；

9.     真空泵的开启与关闭均为自动程序控制，无需手动操作。

10.    旋转前增加预吸片步骤，“预吸片时间”为99s，确保基片牢固吸附于旋转台后再进行旋转涂膜。匀胶完成后增加解吸片步骤，“解吸片时间”为99s，确保**停止后再切断真空，释   放基片，防止涂膜后的基片滑落，对膜层造成损伤。

11.    标配无油真空泵，低噪音。大吸力将基片紧紧吸附于旋转台，防止飞片。

三.     高精度 程控旋转涂膜仪技术参数

*较大旋涂加速度为有负载条件下(使用≤Ø50mm基片)的真实加速度.