SYSC-200（8 英寸） 系列高精度程控匀胶机，机身外壳采用 SUS304 不锈钢制作，表面镀钛，防腐蚀、不生锈、易清洁。

一.  SYSC-200（8 英寸） 系列高精度程控匀胶机特点

1.    旋转电机采用专为匀胶机设计的精密高速伺服电机，具有高精度、高稳定性、高可靠性。

2.    优异的旋转加速性能，最大旋转加速度*可达 20000/40000rpm/s。

3.    真空系统采用双重唇口式密封，紧密贴合包裹旋转轴，吸片牢固，不掉片。

4.    两项安全互锁功能：

       1)    匀胶腔体具有开启、关闭的检测功能，确保腔体关闭后才可启动；

       2)    真空吸片具有真空检测功能，若发生真空泄漏，则立即停止运行，确保吸片牢固。

5.    机身外壳采用 SUS304 不锈钢制作，表面镀钛，防腐蚀、不生锈、易清洁。 

6.    匀胶腔体采用德国劳士领 NPP 材料，经 CNC 一体加工成型。接储脱离基片的胶液，避免进入真空管路和设备内部。耐腐蚀、易清洁。

7.    匀胶机涂膜腔体内有废液排出孔。在涂膜过程中接储脱离基片的废液，并从排液孔排出。

8.    样品台采用德国劳士领 NPP 材料，经 CNC 一体加工成型。耐高温、耐腐蚀、不变形。

9.    匀胶过程全自动分段程序控制。整个匀胶过程最多可分十步进行，每步的加速时间、旋转速度、匀胶时间均可精密控制、连续可调。可储存 30 组工艺程序，随时调用。

10.  7英寸液晶触摸屏使控制更方便；运行状态及各项参数实时显示，更直观了解匀胶进程；

11.  真空泵的开启与关闭均为自动程序控制，无需手动操作。

12.  旋转前增加预吸片步骤，“预吸片时间"最多为 99s，确保基片牢固吸附于旋转台后再进行旋转涂膜。匀胶完成后增加解吸片步骤，“解吸片时间"最多为 99s，确保安全停止后再切断真空，释放基片，防止涂膜后的基片滑落，对膜层造成损伤。

13.  标配无油真空泵，低噪音。大吸力将基片紧紧吸附于旋转台，防止飞片。

二.  SYSC-200（8 英寸） 系列高精度程控匀胶机技术参数 

*旋涂加速度的最大值为有负载条件下(使用≤Ø100mm 基片)的真实加速度.  基片尺寸＞Ø 100mm 时最大加速度视基片尺寸而定。