SYSC-300A 高精度程控匀胶机，涂膜腔体内有废液排出孔。在涂膜过程中接储脱离基片的废液，并从排液孔排出。

一.  SYSC-300A 高精度程控匀胶机功能特点

1.    旋转电机采用专为匀胶机设计的精密高速伺服电机，具有高精度、高稳定性、高可靠性。

2.    优异的旋转加速性能，最大真实负载加速度可达20000rpm/s。

3.    两项安全互锁功能：

        1)    匀胶腔体具有开启、关闭的检测功能，确保腔体关闭后才可启动，防止匀胶过程中飞片造成人身伤害；

        2)    真空吸片具有真空检测功能，若发生真空泄漏，则立即停止运行。

4.    机身及样品台分别采用 PPH 及德国劳士领 PP 材料，经 CNC 一体加工成型。

5.    旋转真空密封系统，特种密封材质及双重唇口贴合式密封结构。

6.    涂膜腔体内有废液排出孔。在涂膜过程中接储脱离基片的废液，并从排液孔排出。

7.    匀胶过程全自动分段程序控制。可储存 30 组工艺程序，随时调用。每组匀胶工艺可分 10 步进行，每步的加速时间、旋转速度、匀胶时间均可精密控制、连续可调。

8.    7英寸液晶触摸屏使控制更方便；运行状态及各项参数实时显示，更直观了解匀胶进程；

9.    真空泵的开启与关闭均为自动程序控制，无需手动操作。

10.  旋转前增加预吸片步骤，“预吸片时间"最多为 99s，确保基片牢固吸附于旋转台后再进行旋转涂膜。匀胶完成后增加解吸片步骤，“解吸片时间"最多为 99s，确保安全停止后再切断真空，释放基片，防止涂膜后的基片滑落，对膜层造成损伤。

二.  SYSC-300A 高精度程控匀胶机技术参数 

*旋涂加速度的最大值为有负载条件下(使用≤Ø150mm 基片)的真实加速度。基片尺寸＞150mm 时的最大加速度视基片尺寸而定。